-
Háhrein gassíun fyrir hálfleiðaraiðnað - HENGKO HF serían
Lýsing Háþrýstigassíinn er sérstaklega hannaður til notkunar í háþrýsti-, hreinni gasdreifikerfum og gasskápum með afar hreinni gasi...
Skoða nánar -
Náðu fram síun á afar hreinu gasi fyrir framleiðslu hálfleiðara og tryggðu mengunarvarnir...
Lýsing Sérstakt gasfilter fyrir ferli, einnig þekkt sem punkt-til-nota sía, er sérstaklega hannað fyrir hálfleiðaraiðnaðinn til að fjarlægja nákvæmlega...
Skoða nánar -
Háhreinar lausa- og gagnsemisíur fyrir hálfleiðaraiðnaðinn
Lýsing Háflæðisgassía – Sérhönnuð fyrir síun á afar hreinum ferlum í framleiðslu á hálfleiðurum. Nákvæmlega hönnuð fr...
Skoða nánar -
Lausn til gassíun í hálfleiðaraiðnaði - HF serían frá HENGKO
Lýsing Háþrýstigassíinn er sérstaklega hannaður til notkunar í háþrýsti-, hreinni gasdreifikerfum og gasskápum með afar hreinni gasi...
Skoða nánar -
Innbyggð gassíur sem eru samhæfar hreinherbergjum: Viðhaldið mengunarlausu lofti og gasflæði í ...
Lýsing Sérstakt gasfilter fyrir ferli, einnig þekkt sem punkt-til-nota sía, er sérstaklega hannað fyrir hálfleiðaraiðnaðinn til að fjarlægja nákvæmlega...
Skoða nánar -
Háhrein síun fyrir framleiðslu á afar hreinum hálfleiðurum
Lýsing Háflæðisgassía – Sérhönnuð fyrir síun á afar hreinum ferlum í framleiðslu á hálfleiðurum. Nákvæmlega hönnuð fr...
Skoða nánar -
Háþróuð innbyggð gassía fyrir olíu- og gashreinsunarstöðvar
Lýsing Sérstakt gasfilter fyrir ferli, einnig þekkt sem punkt-til-nota sía, er sérstaklega hannað fyrir hálfleiðaraiðnaðinn til að fjarlægja nákvæmlega...
Skoða nánar -
Magn- og gagnsemisíur fyrir mikla nákvæmni í framleiðslu hálfleiðara
Lýsing Háflæðisgassía – Sérhönnuð fyrir síun á afar hreinum ferlum í framleiðslu á hálfleiðurum. Nákvæmlega hönnuð fr...
Skoða nánar -
T-gerð innbyggð gassía nauðsynleg fyrir hreina og áreiðanlega hálfleiðaravinnslu
Lýsing Sérstakt gasfilter fyrir ferli, einnig þekkt sem punkt-til-nota sía, er sérstaklega hannað fyrir hálfleiðaraiðnaðinn til að fjarlægja nákvæmlega...
Skoða nánar -
Lausnir fyrir síun á gasi með mikilli hreinleika fyrir hálfleiðaraiðnaðinn
Lýsing Háflæðisgassía – Sérhönnuð fyrir síun á afar hreinum ferlum í framleiðslu á hálfleiðurum. Nákvæmlega hönnuð fr...
Skoða nánar -
T-gerð innbyggð gassía fyrir hálfleiðaraframleiðslu, iðnaðar T-gerð...
Lýsing Sérstakt gasfilter fyrir ferli, einnig þekkt sem punkt-til-nota sía, er sérstaklega hannað fyrir hálfleiðaraiðnaðinn til að fjarlægja nákvæmlega...
Skoða nánar -
Hreinleikasíur fyrir mikilvæg hálfleiðaraferli
Lýsing Háflæðisgassía – Sérhönnuð fyrir síun á afar hreinum ferlum í framleiðslu á hálfleiðurum. Nákvæmlega hönnuð fr...
Skoða nánar -
T-gerð gas síunarkerfi til notkunar í gasskápum og gasdreifikerfum, afkastamikil...
Lýsing Sérstakt gasfilter fyrir ferli, einnig þekkt sem punkt-til-nota sía, er sérstaklega hannað fyrir hálfleiðaraiðnaðinn til að fjarlægja nákvæmlega...
Skoða nánar -
Háhreinleika- og háþrýstingsgasdreifarar fyrir óviðjafnanlega síun og nákvæma flæðisstýringu...
Lýsing Dreifisían er háþróuð lausn sem er sérstaklega hönnuð fyrir hraða loftræstingu í lofttæmisklefum sem notuð eru í hálfleiðaraframleiðslu...
Skoða nánar -
IGS síur lágsniðnar yfirborðsfestar C-þéttingarsíur fyrir gasflutningskerfi fyrir hálfleiðara
Lýsing HENGKO yfirborðsfestingarsíur eru hannaðar til að uppfylla kröfur samþættra gaskerfa sem notuð eru í hálfleiðara OEM verkfærum. Bjóða upp á ...
Skoða nánar -
OEM Ultrahigh Purity Gas Filters Sérsniðnar ryðfríu stáli lausnir fyrir hálfleiðara og ...
OEM Ultrahigh Purity Gas Filters Sérsniðnar lausnir úr ryðfríu stáli fyrir hálfleiðara- og rannsóknarstofuiðnað Lýsing Háflæðisgassía – Sérstaklega...
Skoða nánar -
Iðnaðarflokks innbyggð gassía fyrir gashreinsunarkerfi
Lýsing Sérstakt gasfilter fyrir ferli, einnig þekkt sem punkt-til-nota sía, er sérstaklega hannað fyrir hálfleiðaraiðnaðinn til að fjarlægja nákvæmlega...
Skoða nánar -
Framúrskarandi síun og áreiðanleg háþrýstingsflæðisstýring fyrir hálfleiðaraferli
Lýsing Dreifisían er háþróuð lausn sem er sérstaklega hönnuð fyrir hraða loftræstingu í lofttæmisklefum sem notuð eru í hálfleiðaraframleiðslu...
Skoða nánar -
Yfirborðsfestingar C-þéttisíulausnir fyrir skilvirk gasdreifingarkerfi frá IGS
Lýsing HENGKO yfirborðsfestingarsíur eru hannaðar til að uppfylla kröfur samþættra gaskerfa sem notuð eru í hálfleiðara OEM verkfærum. Bjóða upp á ...
Skoða nánar -
Framleiðandi síuþátta með mikilli hreinleika sem veitir nákvæma flæðistýringu fyrir efna- og klór...
Framleiðandi síuþátta með mikilli hreinleika sem veitir nákvæma flæðistýringu fyrir verksmiðjur og hreinrými Lýsing HENGKO yfirborðsfestingarsíur eru hannaðar ...
Skoða nánar
Hálfleiðara gassíur:
Að tryggja óaðfinnanlegan gashreinleika í flísframleiðslu
Í flóknum heimi hálfleiðaraframleiðslu, þar sem nákvæmni og hreinleiki eru í fyrirrúmi, er gæði ...
Lofttegundir sem notaðar eru gegna lykilhlutverki í því að ákvarða árangur ferlisins. Óhreinindi, jafnvel á óendanlega litlu stigi,
getur valdið usla í viðkvæmum rafrásum örflögna og gert þær gallaðar og ónothæfar. Til að vernda
Í þessu mikilvæga ferli standa hálfleiðaragassíur sem óbilandi verndarar og fjarlægja vandlega mengunarefni
og tryggja óaðfinnanleg gæði lofttegunda sem flæða um framleiðslulínurnar.
Það eru margir frábærir eiginleikar og kostir við sinterað málmsíur
1. Smíðað í nýjustu tækni í hreinum herbergjum
Þessar síur eru framleiddar í nýjustu hreinsherbergi, umhverfi þar sem óaðfinnanlegu ástandi er viðhaldið vandlega til að lágmarka hugsanlega mengun. Þær gangast undir strangt framleiðsluferli, sem hefst með nákvæmri suðu undir hreinsuðu lofti. Síðari skolun með afjónuðu vatni, og síðan háþrýstihreinsun með síuðu köfnunarefni, fjarlægir allar eftirstandandi agnir og dregur úr hættu á agnalosun.
2. Framúrskarandi skilvirkni í agnaeyðingu
Með einstakri síunarhagkvæmni upp á 9 LRV fyrir 0,003 μm agnir, sem fylgja ströngum stöðlum SEMI F38 og ISO 12500 prófunaraðferðanna, fjarlægja þessar síur á áhrifaríkan hátt allar agnir sem myndast af tæringu og agnir sem myndast frá hreyfanlegum hlutum og tryggja þannig óaðfinnanlega hreinleika lofttegundanna.
3. Yfirburða vélrænn styrkur
Þessar síur hafa verið stranglega prófaðar til að tryggja einstaka seiglu í krefjandi framleiðsluferlum og umhverfi þar sem oft er notaður mikinn gasþrýsting og veita óbilandi afköst allan líftíma sinn.
4. Að fara fram úr ströngustu stöðlum iðnaðarins
Þessar síur fara fram úr ströngum kröfum um síun gass í hálfleiðaravinnslu og gangast undir strangar prófanir til að tryggja að þær uppfylli mikilvægar kröfur um síunarhagkvæmni, nákvæma flæðisstýringu og öryggisstaðla sem krafist er fyrir gasafhendingarkerfi í hálfleiðaraframleiðslu.
5. Óhagganleg skuldbinding til öryggis
Til að verjast eldfimum, ætandi, eitruðum og loftkenndum vinnslulofttegundum eru síuhúsin ítarlega lekaprófuð, sem tryggir að þau nái ótrúlegum lekahraða undir 1x10-9 atm fcc/sekúndu. Þessi óbilandi skuldbinding við öryggi tryggir að hættulegar lofttegundir séu innilokaðar og komið í veg fyrir að þær valdi skaða.
6. Ósveigjanlegur hreinleiki fyrir framúrskarandi flísframleiðslu
Með einstakri síunargetu sinni, óbilandi skuldbindingu við öryggi og fylgni við ströngustu iðnaðarstaðla gegna þessar gassíur lykilhlutverki í að vernda flókið ferli hálfleiðaraframleiðslu. Þær standa sem verndarar hreinleika og tryggja að aðeins hreinustu lofttegundir flæði um framleiðslulínurnar og ryðja brautina fyrir framleiðslu á afkastamiklum örflögum sem knýja nútímaheiminn okkar áfram.
Tegundir hálfleiðara sía
Hálfleiðara síur eru notaðar í ýmsum forritum, þar á meðal:
* Framleiðsla rafeindabúnaðar:
Hálfleiðarafilter eru notaðir til að fjarlægja agnir úr hreinu vatni, lofttegundum og efnum sem notuð eru við framleiðslu hálfleiðara.
* Efnafræðileg vélræn útfelling (CMP):
Hálfleiðara síur eru notaðar til að fjarlægja agnir úr CMP slurries, sem eru notaðar til að pússa hálfleiðaraskífur.
* Líftækni:
Hálfleiðara síur eru notaðar til að fjarlægja agnir úr vökvum sem notaðir eru í læknisfræðilegum greiningum og meðferðum.
* Umhverfismál:
Hálfleiðarafilter eru notaðir til að fjarlægja agnir úr lofti og vatni.
Það eru fjórar megingerðir af hálfleiðara síum:
1. Himnufilter:
Himnusíur eru gerðar úr þunnri, porous filmu sem leyfir vökva að fara í gegn á meðan þær fanga agnir.
2. Dýptarsíur:
Dýptarsíur eru gerðar úr þykku, sveigðu efnislagi sem fangar agnir þegar þær flæða í gegnum síuna.
3. Aðsogssíur:
Adsorbent síur eru úr efni sem laðar að sér og heldur fast í agnir.
4. Síur úr sintruðum málmi
Síur úr sinteruðu málmieru tegund dýptarsíu sem er almennt notuð í framleiðslu hálfleiðara. Þær eru framleiddar með því að sinta fínt málmduft í porous uppbyggingu. Sinteraðar málmsíur eru þekktar fyrir mikla endingu, mikla síunarhagkvæmni og getu til að þola hátt hitastig og þrýsting.
Kostir sintraðra málmsína fyrir framleiðslu á hálfleiðurum:
* Mikil endingargæði:
* Mikil síunarvirkni:
* Langur líftími:
* Efnafræðileg samhæfni:
Notkun sintraðra málmsína í framleiðslu hálfleiðara:
* Gashreinsun:
Síur úr sinteruðum málmi eru nauðsynlegur hluti af framleiðsluferli hálfleiðara og hjálpa til við að tryggja framleiðslu á hágæða hálfleiðurum.
Tegund hálfleiðara síu sem notuð er í tilteknu forriti fer eftir stærð agnanna sem fjarlægðar eru, tegund vökvans sem síað er og æskilegu síunarstigi.
Hér er tafla sem sýnir saman mismunandi gerðir af hálfleiðara síum:
| Tegund síu | Lýsing | Umsóknir | Mynd |
|---|---|---|---|
| Himnu síur | Úr þunnri, porous filmu sem leyfir vökva að fara í gegn en heldur agnum. | Rafeindaframleiðsla, CMP, líftækni, umhverfismál | |
| Dýptarsíur | Úr þykku, sveigðu efnisrúmi sem fangar agnir þegar þær streyma í gegnum síuna. | CMP, líflæknisfræði, umhverfis | |
| Adsorbentsíur | Úr efni sem dregur að sér agnir og heldur þeim. | Rafeindaframleiðsla, CMP, líftækni, umhverfismál | |
| Síur úr sinteruðu málmi | Búið til með því að sinta fínt málmduft í porous uppbyggingu. | Gashreinsun, efnasíun, síun á útfjólubláu vatni, síun á CMP slurry | Sintered málmsíur fyrir hálfleiðara |
Umsókn
Hálfleiðaragassíur úr sinteruðu málmi eru mikið notaðar í ýmsum tilgangi í hálfleiðaraiðnaðinum. Einstakir eiginleikar þeirra, svo sem mikil síunarvirkni, endingargóðleiki og hæfni til að þola hátt hitastig og þrýsting, gera þær að nauðsynlegum þætti í gasflutningskerfum í hálfleiðaraframleiðslu.
Hér eru nokkur af sérstökum notkunarsviðum sintraðra málmhálfleiðara gassía:
1. Vöffluframleiðsla:
Síur úr sinteruðu málmi eru notaðar til að hreinsa lofttegundir sem notaðar eru í framleiðslu á skífum, svo sem köfnunarefni, vetni og súrefni. Þessar lofttegundir eru nauðsynlegar fyrir ferli eins og vöxt í epitaxíum, etsun og efnablöndun.
2. Efnasíun:
Síur úr sintruðum málmi eru notaðar til að sía efni sem notuð eru í framleiðslu hálfleiðara, svo sem sýrur, basa og leysiefni. Þessi efni eru notuð í ýmsum tilgangi, þar á meðal til hreinsunar, etsunar og fægingar.
3. Síun með ofurhreinu vatni:
Síur úr sintruðum málmi eru notaðar til að sía útsúprentað vatn (UPW) sem notað er í framleiðslu hálfleiðara. UPW er nauðsynlegt til að þrífa og skola skífur, sem og til að undirbúa efni.
4. Síun með CMP-slammi:
Síur úr sinteruðu málmi eru notaðar til að sía CMP-slurry, sem eru notaðar til að pússa hálfleiðaraskífur. CMP er mikilvægt ferli í framleiðslu örflaga.
5. Síun á notkunarstað (POU):
Síur úr sinteruðu málmi eru oft notaðar sem POU-síur, sem eru settar upp beint á notkunarstað til að veita hámarks síun. POU-síur eru sérstaklega mikilvægar fyrir notkun þar sem hreinleiki gassins er mikilvægur, svo sem við framleiðslu örgjörva og annarra afkastamikla tækja.
6. Meðhöndlun á háhreinu gasi:
Síur úr sintruðum málmi eru notaðar í kerfum fyrir meðhöndlun á háhreinum gasi til að fjarlægja mengunarefni úr lofttegundum sem notuð eru í framleiðslu hálfleiðara. Þessi mengunarefni geta verið agnir, raki og lífræn efnasambönd.
7. Framleiðsla örrafeindatækni:
Síur úr sinteruðu málmi eru notaðar í framleiðslu á örrafeindatækjum, svo sem tölvum, spjaldtölvum, farsímum, skynjurum fyrir hlutina í hlutunum og stjórntækjum.
8. Síun með ör-rafvélrænum kerfum (MEMS):
Síur úr sinteruðu málmi eru notaðar í MEMS síun, sem er ferlið við að fjarlægja óhreinindi úr ör-rafsegulfræðilegum kerfum. MEMS eru notuð í ýmsum tilgangi, þar á meðal skynjurum, stýritækjum og nema.
9. Síun gagnageymslutækja:
Síur úr sinteruðu málmi eru notaðar í síun gagnageymslutækja, sem er ferlið við að fjarlægja mengunarefni úr gagnageymslutækjum, svo sem hörðum diskum og solid-state diskum.
Auk þessara sérstöku nota eru sintruð málm hálfleiðara gassíur einnig notaðar í ýmsum öðrum tilgangi í hálfleiðaraiðnaðinum. Fjölhæfni þeirra og áreiðanleiki gerir þær að nauðsynlegu tæki fyrir hálfleiðaraframleiðendur.
Ertu að leita að hágæða sinteruðum hálfleiðara gassíum?
HENGKO er þinn besti samstarfsaðili fyrir OEM lausnir í framleiðslukerfum fyrir hálfleiðara.
Nákvæmlega hönnuð síur okkar tryggja áreiðanleika og skilvirkni í ferlum þínum og veita þér forskot á samkeppnismarkaði.
Af hverju að velja síur HENGKO?
* Framúrskarandi gæði og endingargóð
* Sérsniðnar lausnir sem henta þínum þörfum
* Bætt afköst fyrir framleiðslu hálfleiðara
Láttu ekki síunarvandamál hamla framleiðslu þinni.
Hafðu samband við okkur í dag til að kanna hvernig sinteruðu málmsíurnar okkar geta gjörbylta framleiðslukerfinu þínu.
Hafðu samband við okkur áka@hengko.com
Vertu í samstarfi við HENGKO og taktu skref í átt að ágæti í framleiðslu hálfleiðara!


















