Háþróaðar IGS yfirborðsfestingar C-þéttisíur fyrir hálfleiðara gasdreifingarkerfi

Lýsing

HENGKO yfirborðsfestingarsíur eru hannaðar til að uppfylla kröfur samþættra gaskerfa sem notuð eru í hálfleiðaraverkfærum. Þessar síur bjóða upp á leiðandi síun við 0,003 µm og tryggja framúrskarandi afköst og áreiðanleika með agnahindrun upp á ≥99,9999999% (9-LRV) við 120 slpm.

Þessar síur eru smíðaðar úr sterku 316L ryðfríu stáli sem hefur verið sintrað fyrir síuhlutann og húsið og eru í samræmi við SEMI F86-0304 forskriftirnar. Þær eru með tveggja tengihluta sem eru sniðnir að 1,125" gasdreifikerfum með C-þéttingu. Þær styðja hámarksinntaksþrýsting upp á 3,4 MPa við 100°C og hámarks rekstrarþrýstingsmun upp á 0,69 MPa við 100°C.

Þessar sérhæfðu síur, sem eru samhæfðar bæði C-gerð og W-gerð þéttieiginleikum, ná fram hreinleika niðurstreymis með losun agna af

Með yfirborðsáferð Ra< 1,6 µm að utan og RaÞær eru < 0,13 µm að innan og eru hannaðar til að þola allt að 460°C háan hita. Þessar síur eru hannaðar til að auðvelda samþættingu og uppfærslur á mátbyggingu, þær einfalda uppsetningu og viðhald og hjálpa til við að hámarka afköst kerfisins í gasdreifingu og stjórnun á hálfleiðurum.

Vörueiginleiki

▶ Heildarbygging úr 316L ryðfríu stáli
▶ Smágerð hönnun, þétt uppbygging, plásssparandi
▶ Framúrskarandi eiginleikar til að skipta um gas og losa um lofttegund
▶ Þolir háan hita, háan þrýsting og tæringu
▶ Rafpólað hús úr 316L ryðfríu stáli
▶ Einföld og skilvirk uppsetning og viðhald
▶ Vélræn þétting, ósuðuð við miðilinn

Gagnablað

Stærð

Hér er vörunúmerið sem þú getur pantað og upplýsingar um stærð:

Dæmigert forrit

Til notkunar með W-þétti og C-þétti, 1,125” og 1,5” yfirborðsfestum mátbundnum gasdreifikerfum.