hálfleiðara gassíur

Af hverju þarf að nota gassíur í framleiðsluferli hálfleiðara? 

Gassíur eru nauðsynlegar í hálfleiðara framleiðsluferlinu af nokkrum mikilvægum ástæðum:

1. Fjarlæging mengunarefna

Hálfleiðaraframleiðsla felur í sér fjölmörg viðkvæm ferli þar sem jafnvel minnstu aðskotaefni,

eins og rykagnir, raki eða efnaleifar geta haft skaðleg áhrif. Gassíur fjarlægðar

svifryk, óhreinindi og loftborin mengun frá vinnslulofttegundum, sem tryggir hreint umhverfi

og viðhalda heilleika hálfleiðaraplötunnar.

2. Viðhalda Ultra-Purity Standards

Hálfleiðaraiðnaðurinn krefst afar mikils hreinleika í lofttegundunum sem notaðar eru, eins og óhreinindi geta

leiða til galla í hálfleiðaratækjum. Gassíur hjálpa til við að ná ofurhreinum gasgæðum, koma í veg fyrir

mengun og tryggja samkvæmni og áreiðanleika varanna.

3. Verndarbúnaður

Aðskotaefni í lofttegundum geta ekki aðeins skaðað hálfleiðaraplöturnar heldur einnig skaðað viðkvæmar

búnaður sem notaður er í framleiðsluferlinu, svo sem efnagufuútfellingar (CVD) reactors og

ætingarkerfi. Gassíur vernda þessar dýru vélar gegn skemmdum og draga úr hættu á

stöðvunartími og kostnaðarsamar viðgerðir.

4. Koma í veg fyrir tap á ávöxtun

Afraksturinn skiptir sköpum í hálfleiðaraframleiðslu, þar sem gallar geta valdið verulegu tapi í framleiðslu.

Jafnvel ein ögn eða efnafræðileg óhreinindi geta valdið uppskerutapi, sem hefur áhrif á framleiðni og arðsemi.

Gassíur tryggja að vinnslulofttegundirnar séu hreinar, lágmarka mengun og draga úr afraksturstapi.

5. Að tryggja gæði vöru

Samræmi og gæði eru í fyrirrúmi í hálfleiðaraframleiðslu. Mengaðar lofttegundir geta myndað

ósamræmi, sem leiðir til óáreiðanlegra hálfleiðaratækja. Með því að nota gassíur geta framleiðendur

tryggja að hver lota uppfylli ströngu gæðastaðla sem krafist er, sem leiðir til hærra tækis

frammistöðu og langlífi.

6. Að draga úr niður í miðbæ

Aðskotaefni í vinnslulofttegundum geta valdið bilun í búnaði, sem þarfnast viðhalds eða endurnýjunar.

Með því að nota gassíur geta framleiðendur dregið úr óvæntum niður í miðbæ, viðhaldið skilvirkni í rekstri og

lengja líftíma mikilvægra tækja.

7. Efnasamhæfi

Margar lofttegundanna sem notaðar eru í hálfleiðaraferlum eru mjög hvarfgjarnar eða ætandi. Gassíur eru

hannað til að standast þetta erfiða efnaumhverfi en síar á áhrifaríkan hátt óhreinindi, tryggir

örugg og skilvirk vinnsla.

Á heildina litið eru gassíur mikilvægar til að viðhalda hreinleika, áreiðanleika og öryggi hálfleiðarans.

framleiðsluferli, sem hjálpar til við að ná hágæða, gallalausum hálfleiðaravörum á meðan

einnig að vernda verðmætan búnað.

Tegundir gassía í framleiðsluferli hálfleiðara

Í hálfleiðara framleiðsluferlinu eru mismunandi gerðir af gassíur notaðar til að taka á ýmsum

stigum og áskorunum sem tengjast hreinleika gass og búnaðarvörn.

Tegundir gassía sem almennt eru notaðar eru:

1. Agnasíur

*Tilgangur: Til að fjarlægja agnir, ryk og önnur föst aðskotaefni úr vinnslulofttegundum.

*Notkun: Oft sett upp á ýmsum stigum til að vernda oblátur, vinnsluhólf og búnað fyrir agnamengun.

* Efni: Venjulega gert úr hertu ryðfríu stáli, PTFE eða öðrum efnum sem tryggja endingu og efnasamhæfi.

2. Sameinda- eða efnasíur (Getter-síur)

*Tilgangur: Til að fjarlægja ákveðin sameindamengun, eins og raka, súrefni eða lífræn efnasambönd, sem geta verið til staðar í vinnslulofttegundum.

*Notkun: Notað þegar þörf er á háhreinu gasi, svo sem við útfellingu eða ætingarferli.

* Efni: Oft smíðað með því að nota virkt kol, zeólít eða önnur aðsogsefni sem eru sérstaklega hönnuð til að fanga sameindaóhreinindi.

3. Háhreinar gassíur

*Tilgangur: Til að ná háum hreinleika (UHP) gasstöðlum, sem er mikilvægt fyrir hálfleiðaraferli þar sem minnsti óhreinindi geta haft áhrif á gæði vörunnar.

*Notkun: Þessar síur eru notaðar í ferlum eins og Chemical Vapor Deposition (CVD) og Plasma Etching, þar sem óhreinindi geta valdið alvarlegum göllum.

* Efni: Framleitt úr ryðfríu stáli með sérhæfðum himnum til að viðhalda heilleika við háan þrýsting og erfiðar aðstæður.

4. Magasíur

*Tilgangur: Til að hreinsa lofttegundir við innkomu eða fyrir dreifingu á framleiðslulínur.

*Notkun: Staðsett uppstreymis í gasflutningskerfinu til að sía lofttegundir í lausu áður en þær eru settar í einstök verkfæri eða kjarnaofna.

* Efni: Þessar síur hafa oft mikla getu til að meðhöndla mikið magn af lofttegundum.

5. Notkunarstaður (POU) gassíur

*Tilgangur: Til að tryggja að lofttegundirnar sem berast í hvert tiltekið vinnsluverkfæri séu lausar við aðskotaefni.

*Notkun: Sett upp rétt áður en lofttegundirnar eru settar í vinnslubúnaðinn, svo sem ætingar- eða útfellingarhólfa.

* Efni: Framleitt úr efnum sem eru samhæf við hvarfgjarnar lofttegundir sem notaðar eru í hálfleiðaraferlum, eins og hertum málmi eða PTFE.

6. Innbyggðar gassíur

*Tilgangur: Til að veita innbyggða síun fyrir lofttegundir sem fara í gegnum dreifikerfið.

*Notkun: Uppsett innan gaslína á lykilstöðum, sem veitir áframhaldandi síun um allt kerfið.

* Efni: Sinterað ryðfríu stáli eða nikkel til að tryggja efnasamhæfi við lofttegundirnar.

7. Yfirborðsfestingar gassíur

*Tilgangur: Til að festa beint á gasplötuíhluti til að fjarlægja agnir og sameindamengun.

*Notkun: Algengar í þröngum rýmum, þessar síur veita skilvirka síun á notkunarstað í mikilvægum forritum.

* Efni: Háhreint ryðfrítt stál fyrir endingu og samhæfni við hálfleiðaraframleiðslulofttegundir.

8. Sub-Micron síur

*Tilgangur: Til að sía út afar litlar agnir, oft eins litlar og undir míkrónu, sem geta samt valdið verulegum göllum í hálfleiðaraferlum.

*Notkun: Notað í ferlum sem krefjast hæsta stigs síunar til að viðhalda ofurhreinu gasframboði, svo sem ljóslitafræði.

* Efni: Háþéttni hertu málmur eða keramik efni sem geta í raun fangað jafnvel minnstu agnir.

9. Virkjaðar kolefnissíur

*Tilgangur: Til að fjarlægja lífræn aðskotaefni og rokgjarnar lofttegundir.

*Notkun: Notað í notkun þar sem fjarlægja þarf loftkennd óhreinindi til að koma í veg fyrir oblátamengun eða truflanir á viðbrögðum.

* Efni: Virkt kolefni sem ætlað er að gleypa lífrænar sameindir.

10.Sintered Metal Gas Filters

*Tilgangur: Til að fjarlægja agnir og óhreinindi á áhrifaríkan hátt á meðan það býður upp á styrkleika og mótstöðu gegn háum þrýstingi.

*Notkun: Víða notað á mörgum stigum hálfleiðaraferlisins þar sem öflug síun er nauðsynleg.

* Efni: Venjulega úr hertu ryðfríu stáli eða öðrum málmblöndur til að standast erfiðar aðstæður og efni.

11.Vatnsfælin gassíur

*Tilgangur: Til að koma í veg fyrir að raki eða vatnsgufa komist inn í gasstrauminn, sem er mikilvægt í ákveðnum ferlum sem eru viðkvæm fyrir jafnvel snefilmagni af raka.

*Notkun: Oft notað í ferlum eins og þurrkun á oblátum eða plasmaætingu.

* Efni: Vatnsfælin himnur, eins og PTFE, til að tryggja að lofttegundir haldist lausar við rakamengun.

Þessar ýmsu gerðir af gassíum eru vandlega valdar út frá sérstökum eiginleikum þeirra, efnissamhæfni og hentugleika fyrir einstakar aðstæður í framleiðsluferli hálfleiðara. Rétt samsetning sía er nauðsynleg til að viðhalda hámarks hreinleika gassins, tryggja stöðugleika ferlisins og koma í veg fyrir galla í hálfleiðaratækjum.

Nokkrar algengar spurningar um hálfleiðara gassíur

Algengar spurningar 1:

Hvað eru hálfleiðara gassíur og hvers vegna eru þær mikilvægar?

Hálfleiðaragassíur eru mikilvægir þættir í framleiðsluferli hálfleiðara.

Þau eru hönnuð til að fjarlægja óhreinindi og aðskotaefni úr vinnslulofttegundum, svo semsúrefni,

köfnunarefni, vetni og ýmsar efnalofttegundir.

Þessi óhreinindi geta haft veruleg áhrif á gæði, afrakstur og áreiðanleika hálfleiðaratækja.

Með því að sía gasstrauma á áhrifaríkan hátt hjálpa hálfleiðara gassíur við að:

1.Viðhalda miklum hreinleika:

Gakktu úr skugga um að lofttegundirnar sem notaðar eru í framleiðsluferlinu séu lausar við aðskotaefni sem gætu dregið úr afköstum tækisins.

2. Komdu í veg fyrir skemmdir á búnaði:

Verndaðu viðkvæman hálfleiðarabúnað fyrir agna- og efnamengun, sem getur leitt til kostnaðarsamra niður í miðbæ og viðgerða.

3.Bæta vöruávöxtun:

Draga úr göllum og bilunum af völdum gasbornra óhreininda, sem leiðir til meiri framleiðslu.

4. Auka áreiðanleika tækisins:

Lágmarka langtíma niðurbrot hálfleiðaratækja vegna mengunartengdra vandamála.

Algengar spurningar 2:

Hverjar eru algengar tegundir hálfleiðara gassíur?

Nokkrar gerðir af gassíum eru notaðar í hálfleiðaraframleiðslu, hver um sig hönnuð til að fjarlægja

sérstakar tegundir mengunarefna.

Algengustu tegundirnar eru:

1. Agnasíur:

Þessar síur fjarlægja fastar agnir, svo sem ryk, trefjar og málm agnir, úr gasstraumum.

Þau eru venjulega gerð úr efnum eins og hertu málmi, keramik eða himnusíur.

2.Efnasíur:

Þessar síur fjarlægja efnafræðileg óhreinindi, svo sem vatnsgufu, kolvetni og ætandi lofttegundir.

Þau eru oft byggð á aðsogs- eða frásogsreglum, með því að nota efni eins og virkt kolefni,

sameinda sigti, eða efnasogefni.

3. Samsettar síur:

Þessar síur sameina getu agna- og efnasíu til að fjarlægja báðar tegundir

mengunarefni. Þau eru oft notuð í mikilvægum forritum þar sem mikill hreinleiki er nauðsynlegur.

Algengar spurningar 3:

Hvernig eru hálfleiðara gassíur valdar og hannaðar?

Val og hönnun á hálfleiðara gassíum felur í sér nokkra þætti, þar á meðal:

* Kröfur um hreinleika gass:

Æskilegt hreinleikastig fyrir tiltekna gasstrauminn ákvarðar síunarvirkni og getu síunnar.

* Rennslishraði og þrýstingur:

Rúmmál gass sem á að sía og rekstrarþrýstingur hafa áhrif á stærð, efni og uppsetningu síunnar.

* Tegund og styrkur mengunarefna:

Sérstakar tegundir mengunarefna sem eru til staðar í gasstraumnum ráða vali á síumiðli og holastærð hans.

* Hitastig og raki:

Notkunarskilyrði geta haft áhrif á afköst og endingartíma síunnar.

* Kostnaður og viðhald:

Íhuga verður stofnkostnað síunnar og áframhaldandi viðhaldskröfur hennar.

Með því að íhuga þessa þætti vandlega geta verkfræðingar valið og hannað gassíur sem uppfylla sérstakar kröfur

þarfir hálfleiðara framleiðsluferlis.

Hversu oft ætti að skipta um gassíur í hálfleiðaraframleiðslu?

Tíðni skipta um gassíur í hálfleiðaraframleiðslu fer eftir nokkrum þáttum, þar á meðal gerð

ferli, magn mengunarefna og tiltekna tegund síu sem notuð er. Venjulega er skipt um gassíur reglulega

viðhaldsáætlun til að koma í veg fyrir hættu á mengun,oft á 6 til 12 mánaða fresti, allt eftir notkunarskilyrðum

og ráðleggingar frá síuframleiðandanum.

Hins vegar geta skiptiáætlanir verið mjög mismunandi eftir rekstrarumhverfi. Til dæmis:

*Ferlar með mikilli mengun:

Það gæti þurft að skipta um síur oftar ef þær verða fyrir miklu magni af

agna- eða sameindamengun.

*Mikilvægar umsóknir:

Í ferlum sem krefjast mjög mikils hreinleika (td ljóslithography), er síum oft skipt út

fyrirbyggjandi til að tryggja að gasgæði séu ekki í hættu.

Að fylgjast með mismunaþrýstingi yfir síuna er algeng aðferð til að ákvarða hvenær þarf að skipta um síu.

Þegar mengunarefni safnast upp eykst þrýstingsfallið yfir síuna, sem gefur til kynna minnkun á skilvirkni.

Það er mikilvægt að skipta um síur áður en skilvirkni þeirra minnkar, þar sem hvers kyns brot á hreinleika gassins geta valdið verulegum göllum,

draga úr uppskeru og jafnvel leiða til skemmda á búnaði.

Úr hvaða efnum eru gassíur gerðar fyrir hálfleiðara?

Gassíur sem notaðar eru í hálfleiðara eru gerðar úr efnum sem geta viðhaldið hæstu hreinleikastöðlum

og standast erfiðar aðstæður sem finnast í framleiðslu. Algeng efni eru:

* Ryðfrítt stál (316L): Mest notaða efnið vegna efnaþols, vélræns styrks og

getu til að vera framleiddur með nákvæmum svitaholastærðum með því að nota hertutækni. Það er hentugur til að sía bæði hvarfgjarnt

og óvirkar lofttegundir.

*PTFE (Polytetrafluoroethylene): PTFE er efnafræðilega óvirkt efni sem notað er til að sía mjög hvarfgjarnt eða ætandi

lofttegundir. Það hefur framúrskarandi efnasamhæfi og vatnsfælin eiginleika, sem gerir það tilvalið fyrir rakaviðkvæmt

ferlum.

*Nikkel og Hastelloy:

Þessi efni eru notuð til notkunar við háhita eða í ferli sem felur í sér árásargjarn efni

þar sem ryðfríu stáli gæti brotnað niður.

*Keramik:

Keramiksíur eru notaðar til notkunar þar sem mikils hitaþols er krafist, eða fyrir undirmíkrón

síun agna.

Val á efni fer eftir tegund gass, tilvist hvarfgjarnra efna, hitastig og

aðrar ferlibreytur. Efnin verða að vera ekki hvarfgjörn til að tryggja að þau komi ekki í veg fyrir óhreinindi

eða agnir inn í ferlið, þannig að viðhalda gashreinleikastigi sem krafist er fyrir hálfleiðaraframleiðslu.

Hvert er hlutverk notendastaða (POU) sía í hálfleiðaraframleiðslu?

Point-of-Use (POU) síur eru nauðsynlegar í hálfleiðaraframleiðslu þar sem þær tryggja að lofttegundir séu hreinsaðar strax fyrir kl.

inn í vinnslutólin. Þessar síur veita endanlega vörn gegn mengunarefnum sem kunna að hafa komist inn í gasstrauminn

við geymslu, flutning eða dreifingu og eykur þar með ferli stöðugleika og vörugæði.

Helstu kostir POU sía:

*Staðsett nálægt mikilvægum búnaði (td ætingar- eða útfellingarhólfum) til að koma í veg fyrir að mengun berist í oblátuna.

*Fjarlægðu bæði agnir og sameindaóhreinindi sem gætu komið fyrir vegna gasmeðhöndlunarkerfisins eða umhverfisáhrif.

*Gakktu úr skugga um að hæstu mögulegu gasgæði séu afhent í vinnslutólið, vernda búnað og auka gæði framleiddra tækja.

*Dregið úr breytileika ferlisins, aukið ávöxtun og minnkað magn galla.

*Ómissandi í háþróuðu hálfleiðaraumhverfi þar sem jafnvel minniháttar óhreinindi geta haft veruleg áhrif á framleiðni og áreiðanleika vörunnar.

Hvernig koma gassíur í veg fyrir stöðvun búnaðar í hálfleiðaraferlum?

Gassíur koma í veg fyrir stöðvun búnaðar í hálfleiðaraferlum með því að tryggja að vinnslulofttegundir séu stöðugt lausar við

mengunarefni sem gætu valdið skemmdum á framleiðslubúnaði. Hálfleiðara tilbúningur felur í sér notkun mjög

viðkvæman búnað, þar á meðal útfellingarklefa, plasmaætingarvélar og ljóslitakerfi.

Ef aðskotaefni eins og ryk, raki eða hvarfgjörn óhreinindi komast inn í þessar vélar geta þau valdið ýmsum vandamálum,

allt frá stíflulokum og stútum til að skemma flöt á flötum eða innréttingum kjarnaofna.

Með því að nota hágæða gassíur koma framleiðendur í veg fyrir innleiðingu þessara aðskotaefna og draga úr líkum á

óskipulagt viðhald og bilanir í búnaði. Þetta hjálpar til við að viðhalda stöðugri framleiðsluáætlun, lágmarka

dýran niður í miðbæ og forðast umtalsverðan kostnað sem fylgir viðgerðum eða endurnýjun.

Að auki hjálpa vel við haldið síur að lengja líftíma lykilþátta, svo sem flæðistýringa, loka og reactors,

eykur þannig heildarhagkvæmni og arðsemi framleiðsluferlisins.

Svo eftir að hafa athugað nokkrar upplýsingar um hálfleiðara gassíur, ef þú hefur enn fleiri spurningar.

Tilbúinn til að hámarka framleiðsluferli hálfleiðara með hágæða gassíunarlausnum?

Hafðu samband við HENGKO í dag til að fá sérfræðiráðgjöf og sérsniðnar lausnir til að mæta þínum þörfum.

Eftir að hafa skoðað nokkrar upplýsingar um hálfleiðara gassíu, ef þú hefur fleiri spurningar?

Tilbúinn til að hámarka framleiðsluferli hálfleiðara með hágæða gassíunarlausnum?

Hafðu samband við HENGKO í dag til að fá sérfræðiráðgjöf og sérsniðnar lausnir til að mæta þínum þörfum.

Sendu okkur tölvupóst áka@hengko.comfyrir frekari upplýsingar.

Lið okkar er hér til að hjálpa þér að auka framleiðslu skilvirkni og vörugæði.