Hita- og rakaskynjari fyrir hálfleiðara hreint herbergishitastig rakastjórnunarkerfi
Vörusýning
Hitastigiðograkastig hreins rýmis er aðallega ákvörðuð í samræmi við vinnslukröfur, en með því skilyrði að uppfylla vinnslukröfur ætti að taka tillit til þægindatilfinningar.Með endurbótum á kröfum um hreinleika í lofti hefur orðið tilhneiging til sífellt strangari kröfur um hitastig og raka.
Þar sem vinnslunákvæmni er meiri og fínni, þannig að hitastigssveiflusviðið er minna og minna.Til dæmis, í litógrafískri útsetningarferli stórrar samþættrar hringrásarframleiðslu, þarf munurinn á varmaþenslustuðlinum á milli glers og kísilskúffu sem grímuefni að vera minni og minni.Þvermál 100 um sílikon diskur, hitastig hækkun 1 gráðu, mun valda 0,24um línulegri stækkun, þannig að það verður að vera hitastig ±0,1 gráðu, á sama tíma er rakastigið almennt lágt, vegna þess að fólk svitnar, varan mun hafa mengun, sérstaklega hræddur við natríum hálfleiðara verkstæði, þetta verkstæði ætti ekki að fara yfir 25 gráður.
Mikill raki veldur meiri vandamálum.Þegar rakastig fer yfir 55% myndast dögg á vegg kælivatnspípunnar sem veldur ýmsum slysum ef það gerist í nákvæmnistækjum eða hringrásum.Þegar hlutfallslegur raki er 50% er auðvelt að ryðga.Að auki, þegar rakastigið er of hátt, mun rykið sem er fast á yfirborði kísilflögunnar aðsogast efnafræðilega á yfirborðið til að standast fjarlægingu.Því hærra sem hlutfallslegur raki er, er erfitt að fjarlægja viðloðunina, en þegar hlutfallslegur raki er lægri en 30% er auðvelt að gleypa agnirnar á yfirborðið vegna virkni rafstöðuaflsins og mikill fjöldi hálfleiðaratækja er viðkvæmt fyrir niðurbroti.Ákjósanlegasta hitastigið fyrir oblátaframleiðslu er 35-45%.
Þess vegna er eftirlit með hitastigi og rakastigi sérstaklega mikilvægt, HENGKO getur veitt þér röð afsérsniðnar vinnslulausnir fyrir hita- og raka sendandi!
Hita- og rakaskynjari fyrir hálfleiðara hreint herbergishitastig rakastjórnunarkerfi
Geturðu ekki fundið vöru sem uppfyllir þarfir þínar?Hafðu samband við sölufólk okkar fyrirOEM / ODM sérsniðnarþjónusta! 
